TMC представляет STACIS ® iX Stage-Base™, встраиваемую в оборудование (т.е. монтируемая на несущей раме оборудования) активная пьезоэлектрическая система подавления вибрации.
Stage-Base™ e предназначена специально для встраивания в высокопроизводительное оборудование для производства полупроводников, часто включающее в себя высокоточные X-Y позиционеры (X-Y stages). Такие инструменты требуют чрезвычайно эффективной виброизоляции.
Кроме того, для такого оборудования очень важно, чтобы колебания оборудования, вызванные движениями X-Y позиционера, были бы предотвращены или погашены как можно быстрее, чтобы пропускная способность инструмента не страдала.
TMC разработывает новые решения и внедряет передовые технологии, часто опережая требования, которые оборудование для производства полупроводников предъявляет к системам виброизоляции. Stage-Base™ обеспечивает виброизоляцию, сопоставимую с нашими активными пьезоэлектрическими системами подавления вибрации STACIS, но она специально разработана как встраиваемая в инструмент основная система виброизоляции.
Stage-Base™ использует запатентованную технологию TMC STACIS® для достижения чрезвычайно эффективной виброизоляции. В системе применяются радикально-новые пьезоэлектрических моторы с увеличенным рабочим ходом и жесткая подвеска без мягких воздушных пружин, что обеспечивает быстрое время успокоения в ответ на движение X-Y позиционера.
Система гасит вибрацию в 6 степенях свободы и начинает изолировать гораздо ниже 1 гц
